Přeskočit navigaci

RLD10 Interferometr s rovinným zrcadlem

Interferometry s rovinným zrcadlem, vhodné pro aplikace v rovině XY.

V pouzdru detekční hlavy RLD10 je umístěna optika interferometru, unikátní vícekanálový systém detekce interferenční proužků, laserová clona a integrovaný laserový zaměřovač. Dodávají se dvě varianty detekční hlavy RLD10, provedení 0° a 90°.

Funkce a výhody

  • Dvouosá řešení - dvouosé systémy s rovinným zrcadlem jsou ideálním řešením pro polohovací stolky v rovině XY.
  • Vysoké rozlišení - systémy s rovinným zrcadlem lze použít také pro aplikace, kde je v porovnání se systémy s odrážečem požadováno vyšší rozlišení.
  • Citlivá prostředí - detekční hlavy interferometru s rovinným zrcadlem se vyrábějí také ve verzi s nízkým výkonem. Jsou vhodné pro aplikace, které vyžadují nižší tepelné vyzařování než uvedenou hodnotu < 2 W pro standardní hlavy RLD10.
Detekční hlavy RLD se zrcadly

Parametry 

Pojezdy v osách 0 m až 1 m
Rozlišení (konfigurováno s RLU)

Analogová kvadratura = λ/4 (158 nm)
Digitální kvadratura = 10 nm
Rozlišení RPI20 = 38,6 pm

Nelineární chyba systému* (SDE)

*vyjma interface

<±2,5 nm pod 50 mm/s s intenzitou signálu >70%
<±7,5 nm při 1 m/s s intenzitou signálu >50%
Maximální rychlostAž 1 m/s 


Aplikace mimo vakuum vyžadují nějakou formu kompenzace indexu lomu, aby se zachovala přesnost systému při kolísání podmínek prostředí. Společnost Renishaw nabízí kvadraturní kompenzační systém RCU10 pro kompenzaci tohoto kolísání v reálném čase.

Rozlišení do 38,6 pikometrů lze dosáhnout zabudováním paralelního rozhraní RPI20 do systému RLE. Toto rozhraní přijímá diferenciální analogové signály 1 Vpp /sin/cos a poskytuje výstup v paralelním formátu. Další informace o příslušenství viz kompenzační systém RCU10 a interface jednotky laserových snímačů.

Informace o produktech