Přeskočit navigaci

RLD10 Diferenciální interferometr

Diferenciální interferometry umožňují měření polohy vzhledem k definovanému referenčnímu bodu.

Konstrukce diferenciální hlavy obsahuje unikátní optické schéma pro dosažení nízké chyby SDE. Integrované zaměřovače paprsku umožňují nastavení paprsku ve dvou osách, což usnadňuje proces ustavení (vhodné pouze pro aplikace s rovinnými zrcadly).

Detekční hlava RLD10-X3-DI je určena pro montáž na vnější stěnu pracovního prostoru pomocí jednoduchého úchytu. Není nutné vstupovat do pracovní komory kvůli vyrovnání detekční hlavy - integrované zaměřovače laserového svazku umožňují nezávislé nastavení obou paprsků - referenčního a měřicího, ve dvou osách. Provedení montážního systému umožňuje detekční hlavu demontovat a přemístit s minimálním vlivem na vyrovnání systému.

Funkce a výhody

  • Výjimečné metrologické parametry - stabilita frekvence ppb a velmi nízká cyklická chyba umožňující výstupní rozlišení 38,6 pm.
  • Diferenciální konfigurace - měří relativní polohu stolu vzhledem ke sloupu a proto eliminuje běžné chyby, jako například pohyb boční stěny komory související s kolísáním prostředí.
  • Rychlé seřízení - jednoduché seřízení z vnějšku vakuové komory pomocí čtyř integrovaných zaměřovačů paprsku pro kompenzaci tolerančních úchylek komory a upevnění zrcadla.

Technické údaje 

Pojezdy v osách0 m – 1 m
Rozlišení (konfigurováno s RLU)Analogová kvadratura = λ/4 (158 nm)
Digitální kvadratura = 10 nm
Rozlišení RPI20 = 38,6 pm

Nelineární chyba systému* (SDE)

*vyjma interface

<±1 nm pod 50 mm/s s intenzitou signálu >70%
<±6 nm při 1 m/s s intenzitou signálu >50%
Maximální rychlostAž 1 m/s
Detekční hlava diferenciálního interferometru se často používá ve spojení s laserovým zdrojem Renishaw RLU20. Vysoká stabilita laserového zdroje RLU20 v kombinaci s výkonem hlavy diferenciálního interferometru je ideální volbou pro měření ve vakuových komorách a jiných přísně řízených prostředích.

Informace o produktech