Snímače pro řízení pohybu v prostředí s velmi vysokým vakuem

Na veletrhu Vacuum Expo, který se bude konal v International Centre v anglickém Telfordu od 3. do 4. listopadu, se Renishaw zaměříl na snímače polohy navržené speciálně pro použití v podmínkách velmi vysokého vakua.

26. říjen 2010

Produkty na přehlídce zahrnovali nový sortiment snímačů TONiC™ UHV, dostupný v lineárním a úhlovém provedení. Tyto snímače kombinují přednosti vysoce přesných optických lineárních stupnic, spolehlivou polohovou zpětnou vazbou, bezkonkurenční odolností a rychlou a snadnou instalací.

Všechny UHV snímače Renishaw (UHV = ultra-high vacuum, velmi vysoký podtlak) se vyrábějí z materiálů a lepidel odolných vůči vakuu, jejichž charakteristickým rysem je nízký stupeň uvolňování plynů a příznivá analýza zbytkových plynů RGA (residual gas analysis). Snímače jsou navíc vhodné pro vypékací teploty 120 °C a pro extrémně náročné aplikace, včetně výroby polovodičů a použití ve vědecké sféře.

Stejně jako standardní řada čtecích hlav TONiC využívají i nové UHV varianty nejnovější generaci filtrační optiky Renishaw, nyní optimalizované pro minimální šum.  Provedení vyspělé optiky je dále rozšířeno o dynamickou úpravu signálu, jejíž součástí jsou funkce automatického řízení zesílení (AGC) a automatického řízení korekce (AOC). Výsledkem těchto inovací je výjimečně čistý výstupní signál s chybou interpolace SDE ±30 nm, šumem (kolísáním signálu) kolem 0,5 nm RMS a rozlišením až 1 nm.

Všechny stupnice TONiC jsou vybaveny unikátní optickou referenční značkou IN-TRAC™, zabudovanou přímo do inkrementálního kanálu. Značka usnadňuje automatické elektronické fázování stisknutím jediného tlačítka – funkci lze díky tomu ovládat i na dálku. Referenční značka IN-TRAC má navíc tu přednost, že zůstává fázována za všech rychlostí a v celém rozmezí provozních teplot.

Pro lineární polohovou zpětnou vazbu s využitím produktů TONiC UHV mohou konstruktéři pohybových systémů vybírat z celé řady stupnic. Všechny vykazují příznivou analýzu RGA, včetně stupnic RELM Invar s „nulovým“ koeficientem teplotní roztažnosti a garantovanou celkovou přesností vyšší než ±1 µm na délkách do 1130 mm. Sortiment zahrnuje i vysoce přesné stupnice RSLM z nerezové oceli a pásové stupnice RTLC z nerezové oceli, mezi něž patří i známá pásová stupnice RGSZ Renishaw.

Pro využití v rotačních aplikacích je čtecí hlava úhlového snímače TONiC UHV kompatibilní s přesnými rotačními stupnicemi Renishaw s optickými referenčními značkami IN-TRAC, včetně vysoce přesných prstencových stupnic RESM a REXM. Stupnice RESM se vyrábějí z jediného kusu nerezové oceli řady 300 bez nátěru, díky čemuž jsou vhodné ke speciálnímu čištění a odmašťování. Prstencové stupnice mají malý průřez, velký průchozí otvor a patentované kuželové upínání pro jemné seřízení radiálního házení. Pro maximální přesnost rotačních os mohou konstruktéři zvolit vysoce přesné stupnice REXM, které lze používat také v kombinaci s dvojicí čtecích hlav TONIC UHV a dosáhnout celkové instalované přesnosti lepší než ±1 úhlová vteřina.

Získejte další informace o nabídce Snímačů.

Nové zprávy

Zaregistrujte se k pravidelnému odběru nových zpráv vydávaných společností Renishaw