Přeskočit navigaci

TONiC™ UHV Inkrementální odměřovací systém s rotační (úhlovou) prstencovou stupnicí RESM20

Charakteristické vlastnosti

  • Rozměry čtecí hlavy: 35 × 13,5 × 10 mm
  • Rozlišení až 1 nm
  • Rychlost až 3673 ot/min
  • Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE): typicky <± 30 nm
  • Optická referenční značka IN- TRAC

Výhody

  • Ultravysoké vakuum (UHV)
  • Nízkoprofilový prstenec s velkým vnitřním průměrem pro snadnou zástavbu
  • Vysoce kompaktní čtecí hlava snímače s dynamickou úpravou signálu pro dokonalejší řízení pohybu
  • Diagnostická sada je nástroj užitečný při problematických instalacích a pro optimalizaci nastavení systému.
Transparentní místo pro webové upoutávky

Co je TONiC UHV?

TONiC UHV přináší mimořádně kompaktní bezkontaktní odměřovací systém společnosti Renishaw do aplikací pro ultra vysoké vakuum, který nabízí zákazníkům zdokonalené řízení pohybu.
TONiC umožňuje odměřování polohy při rychlosti až 10 m/s. V kombinaci s rozhraním Ti umožňuje rozlišení až 1 nm pro lineární i pro rotační aplikace. Systémy TONiC vynikají rychlou a snadnou instalací se širokými nastavovacími tolerancemi a kalibrací stisknutím tlačítka. Dynamické zpracování signálu systému TONiC poskytuje zvýšenou stabilitu signálu s velmi nízkou hodnotou chyby interpolace (SDE), typicky <±30 nm. Tento parametr se projevuje ve vynikající kvalitě řízení pohybu.

Co je prstenec RESM20?

RESM20 je prstencová stupnice z jednoho kusu nerezové oceli s roztečí dělicích značek 20 µm označených přímo na obvodu, opatřená optickou referenční značkou IN-TRAC™. Dodávají se dvě verze se širokou nabídkou rozměrů od Ø52 mm až do Ø550 mm). Prstence v provedení ‘A' nabízejí vynikající přesnost instalace a jejich vnitřní otvor je opatřen kuželovým profilem, který zpřesňuje vystředění při instalaci, snižuje nároky na přesnost ostatních komponent mechanismu a eliminuje házení po instalaci. Dodávají se také tenké prstence profilu ‘B' s nízkou hmotností a setrvačností. Oba prstence v provedení 'A' i 'B' mají velký průměr vnitřního otvoru pro snadnou zástavbu do finálního zařízení. Díky bezkontaktní konstrukci se u nich nevyskytuje axiální vůle, kroucení hřídele a jiné mechanické hysterezní chyby, s nimiž se potýkají klasické uzavřené snímače.

Proč si zvolit tento odměřovací systém?

Ultravysoké vakuum (UHV)

Čtecí hlavy TONiC UHV mají standardní vynikající výkon hlav TONiC a v jejich konstrukci jsou použity materiály a postupy vhodné do prostředí UHV, díky čemuž jsou vhodné do podmínek UHV až do 10 -10 Torr.
Řada snímačů TONiC UHV a příslušenství k nim je vyrobena z materiálů a lepidel odolných vůči podtlaku, jejichž charakteristickým rysem je nízký stupeň uvolňování plynů a ověřená analýza čistých zbytkových plynů (RGA), díky čemuž jsou vhodné pro řadu aplikací, včetně manipulace a testování křemíkových čipů, vědeckých přístrojů, spektroskopie, zařízení pro kontrolu vakua a mnoha dalších.

Dokonalá spolehlivost a výkon při kompaktních rozměrech

Aby byla zajištěna maximální spolehlivost a konzistentní výkon, jsou snímací hlavy TONiC vybaveny filtrační optikou třetí generace, vyladěnou na nižší šum (jitter) a dále obohacenou o dynamické zpracování signálu včetně funkcí automatického řízení zesílení (Auto Gain Control) a automatického řízení korekce (Auto Offset Control). Tato kombinace – vše je zahrnuto do čtecí hlavy – poskytuje bezkonkurenčně čisté signály s velmi nízkou chybou interpolace (SDE) pouze ± 30 nm. Výsledkem je plynulejší řízení rychlosti pro lepší výkon při skenování a vyšší polohovou stabilitu, což napomáhá minimalizovat generován tepla motory uvnitř vakua; to jsou důležité parametry kompaktní hlavy pro vakuové aplikace.

Rychlejší a snazší montáž

Nastavovací LED dioda na hlavě poskytuje vizuální indikaci síly signálu a volitelná optická diagnostická souprava umožňuje dálkovou kontrolu výkonu systému v případě, když je hlava skrytá uvnitř stroje. Kalibrace referenční značky a inkrementálních signálů se provádí stisknutím tlačítka, bez mechanického seřizování nebo dalších diagnostických nástrojů. Uživatelsky volitelná optická referenční značka IN-TRAC je zabudovaná do inkrementálního měřítka kvůli kompaktním rozměrům a jednoduchému ustavení. Výstupní signál referenční značky je obousměrně opakovatelný v rozsahu jednotky rozlišení při všech rychlostech.

Vhodná rozhraní

Rozhraní TD (duální rozlišení)

  • Volitelné dvojí rozlišení kvadraturního výstupu.
  • Ideální pro vysokorychlostní aplikace s požadavkem na vyšší přesnost odměřování polohy.
Rozhraní Ti (square)

Rozhraní DOP (duální výstup)

  • Poskytuje současně digitální kvadraturní signály a signály 1 Vpp.
  • Navrženo pro aplikace vyžadující synchronizaci jedné nebo více operací s osou pohybu.Rozhraní TONiC Dual Output (DOP)

Duální signální rozhraní (Dual Signal interface – DSi)

  • Rozhraní DSi společnosti Renishaw kombinuje inkrementální signály ze dvou čtecích hlav TONiC získané na jednom prstenci RESM20 (prstenec REST20 pro aplikace částečného otočení). Kompenzuje vliv vůle ložisek, eliminuje všechny liché chybové harmonické složky, včetně výstřednosti a poskytuje celkovou přesnost typicky ±2,0 úhlové vteřiny.Duální signální rozhraní TONiC s rotačním kroužkem RESM

Volitelná diagnostická sada

Diagnostická sada TONiC™ (software a hardware)

Diagnostický software TONiC, který lze použít pro optimalizaci instalace snímačů TONiC, umožňuje rychlou a komplexní kalibraci systému. Software musí být používán ve spojení s diagnostickým hardwarem TONiC, který lze zakoupit u společnosti Renishaw pod objednacím číslem A-9411-0011. Hardware je připojen k počítači USB kabelem (je součástí sady) nebo in-line se zakázkovou elektronikou.

Další informace o diagnostické sadě TONiC.

Technické parametry

Etalon v měření

RESM20: jednodílný nízkoprofilový prstenec z nerezové oceli. Standardní profil „A“ s kuželovým vnitřním průměrem nebo profil „B“ s nízkou setrvačností

Dodává se také pro aplikace částečného otočení jako REST20.

Rozměry čtecí hlavy (DxŠxV)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Rozteč stupnice

20 μm

Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C15,5 ±0,5 μm/m/°C

Vnější průměr kroužku

52 mm až 550 mm. V případě požadavku na specifický rozměr prstence kontaktujte prosím místní zastoupení Renishaw

Počet impulzů

8192 až 86 400 (v závislosti na velikosti prstence)

Referenční značka

RESM20: prstenec s jednou referenční značkou IN-TRAC

REST20: se dvěma referenčními značkami pro aplikace částečného otočení

Přesnost*

Přesnost dělení

Přesnost systému


± 3,97 až ± 0,38 úhlové vteřiny (v závislosti na průměru kroužku)

± 4,20 až ± 0,40 úhlové vteřiny (v závislosti na průměru kroužku)

Maximální rychlost

Analogové

Digitální

(Podrobnosti viz katalogový list)

3673 ot/min při –3 dB (na RESM20 52 mm)

3673 ot/min (rozlišení 5 µm TONiC na RESM20 52 mm)

Chyba interpolace (SDE)

Typicky <±30 nm

Dynamické řízení signálu

Úprava signálu v reálném čase zahrnuje funkci AGC (Automatické řízení zesílení) a AOC (Automatické řízení odchylky) pro optimalizaci výkonu během provozu

Přírůstkové signály

Analogové

Digitální

(Podrobnosti o úhlovém rozlišení viz katalogový list)

1 Vpp, (interval 20 µm)

Rozlišení od 5 µm do 1 nm

Elektrické připojení

Délky kabelů 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m a 10 m s mini konektorem (připojení přímo k interfaci TONiC)

Napájení

5 V ± 10%, <100 mA (analogový systém), <200 mA (digitální systémy) (neukončeno)

Spotřeba čtecí hlavy< 100 mA

Vibrace (provozní)

100 m/s2 max při 55 Hz až 2000 Hz

Nárazy (neprovozní)

1000 m/s2, 6 ms, ½ sinusoida

Provozní teplota (systém)

0 °C až +70 °C

Vypalovací teplota (neprovozní)

120 °C (pouze čtecí hlava a měřítko)

Krytí

Čtecí hlava: IP20

Interface: IP20

Konstrukce kabelu

Jednožilový spletený z pocínované mědi, FEP izolace jádra


* Přesnost systému je součet chyby dělení stupnice a chyby interpolace (SDE). Přesnost dělení je maximální rozdíl mezi úhlem změřeným jednou čtecí hlavou a skutečným otočením snímače po nanesení stupnice. Rušivé vlivy při aplikaci, např. výstřednost, nejsou zahrnuty.

Všechny podrobnosti viz katalogový list