Snímače polohy VIONiC™
Snímače polohy VIONiC jsou nejvýkonnější inkrementální optické snímače společnosti Renishaw. Poskytují přímou digitální polohovou zpětnou vazbu s vynikající metrologií, vysokou rychlostí a spolehlivostí. Ve čtecích hlavách VIONiC je začleněna osvědčená filtrační optika Renishaw a vyspělá interpolační technologie. To poskytuje mimořádně nízké chyby interpolace (SDE), výbornou odolnost vůči znečištění a navíc eliminuje nutnost dalších adaptérů nebo samostatných interfaců.
Čtecí hlavy VIONiC jsou navíc kompatibilní s širokým spektrem lineárních a rotačních stupnic a stupnic části oblouku, od typu stupnice s nízkou roztažností VIONiC™ po vysoce přesné kroužky REXM. Díky tomu jsou snímače řady VIONiC vhodnou volbou pro všestrannou a vynikající metrologii.
Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE)
Řada snímačů VIONiC slučuje osvědčenou filtrační optiku a zpracování signálů společnosti Renishaw pro vynikající metrologické vlastnosti. Vyspělá interpolační technologie poskytuje velmi nízkou hodnotu chyby interpolace (SDE), typicky < ±15 nm, která je nejnižší ze všech optických snímačů společnosti Renishaw.
Vysokorychlostní provoz s jemným rozlišením
Čtecí hlava VIONiC je vybavena inteligentním čipem poskytujícím rozlišení až 2,5 nm, vysokou přesnost a opakovatelnost v každé aplikaci. Snímače se dodávají s maximální taktovací frekvencí 50 MHz a pracují s rychlostí až 12 m/s. Rychlosti až 3,63 m/s jsou možné při rozlišení 0,1 μm, což je ideální pro maximální průchodnost v procesech výroby polovodičů.
Advanced Diagnostic Tool
Snímače VIONiC navíc vynikají snadnou instalací díky intuitivnímu auto-kalibračnímu režimu. Pro zpětnou vazbu snímače v reálném čase během instalace nebo pro diagnostiku na místě je k dispozici volitelný nástroj Advanced Diagnostic Tool ADTi-100.
Vyhledejte vhodnou stupnici pro váš VIONiC
Lineární
Typ stupnice | Název stupnice | Přesnost | Rozteč stupnice | Součinitel teplotní roztažnosti při 20 °C | Maximální délka stupnice |
Stupnice z nerezové oceli s volitelným vedením
| ± 5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Až do 10 m (>10 m na přání) | |
Pásková stupnice z nerezové oceli
| ± 5 µm/m | 20 µm | Odpovídá materiálu podkladu, jsou-li konce stupnice připevněny koncovými svorkami | Až do 20 m (>20 m na přání) | |
Nosník z materiálu ZeroMet
| RELM/RELE | ±1 µm pro až 1 m, potom ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0,35 µm/m/°C | Až 1,5 m |
Stupnice z nerezové oceli
| ± 1,5 μm až do 1 m, ± 2,25 μm až do 2 m, ± 3 μm až do 3 m, ± 4 μm až do 5 m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Až 5 m |
Část oblouku
Typ stupnice | Název stupnice | Přesnost | Rozteč stupnice | Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C | Dodávaná délka |
Úzké nerezové páskové stupnice části oblouku
| ± 5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 μm/m/°C | Až do 20 m (>20 m na přání) |
Rotační
Typ stupnice | Název stupnice | Přesnost (v závislosti na velikosti kroužku) | Rozteč stupnice | Součinitel teplotní roztažnosti při 20 °C | Průměr kroužku |
Kroužek z nerezové oceli  | Přesnost dělení: ±3,97 až ±0,38 úhlové vteřiny | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 až 550 mm | |
Kroužek z nerezové oceli se zvlášť vysokou přesností  | REXM20/REXT20 | Instalovaná přesnost: (průměr ≥100 mm) ±1 úhlová sekunda | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 až 417 mm |
Volitelný Advanced Diagnostic Tool ADTi-100
Snímače VIONiC jsou kompatibilní s nástrojem Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 a softwarem ADT View. Tyto nástroje poskytují komplexní zpětnou vazbu v reálném čase výhodnou při problematických instalacích a diagnostice. Intuitivní software lze použít pro:
- Dálkovou kalibraci
- Optimalizaci signálu v celé délce osy
- Indikaci klopení čtecí hlavy
- Indikaci limitu a referenční značky
- Digitální výstup pozice snímače (vzhledem ke stupnici)
- Monitorování rychlosti proti časovému grafu
- Export a ukládání dat
Klíčové vlastnosti
Rychlost
| Výstupní taktovací frekvence (MHz) | Maximální otáčky (m/s) | Minimální separace hran* (ns) | |||||||||||
| D (5 µm) | X (1 µm) | Z (0,5 µm) | W (0,2 µm) | Y (0,1 µm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*Pro čtecí hlavy s kabelem 1 m
Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE)
Interpolovaná chyba - 10 chybových cyklů
Osa X: Poloha čtecí hlavy (mm)
Osa Y: Chyba (nm)