Zrcadla a optiky
Společnost Renishaw poskytuje širokou nabídku optických prvků a zrcadel pro řešení specifických aplikací.
Rovinná zrcadla
Rovinná zrcadla dodávaná společností Renishaw jsou vyráběná na podkladu ze skla s nízkou teplotní roztažností a mají tvrdý oxidový dielektrický povlak.
Funkce a výhody
- Tepelně stabilní - vyrobená ze substrátu s nízkou tepelnou roztažností, takže minimalizují chyby způsobené změnami prostředí.
- Vysoce odrazivá - vysoce odrazivý povrch zrcadel (>97%) pro maximální výkon.
- Snadná montáž - úchyty zrcadel společnosti Renishaw umožňují snadné ustavení a seřízení.
Rozměry
| Průřez | 25 mm x 25 mm |
| Optický otvor | 60 mm až 380 mm (po krocích 10 mm) |
Technické údaje
| Lokální rovinnost | < λ/10 na ploše 12 mm šířky × 7 mm výšky ( λ = 633 nm) |
| Celková rovinnost | < λ/10 na 100 mm, < 0,5 µm na 500 mm |
| Křížová polarizace | < 0,5% |
| Odrazivost | > 97% dopadajícího paprsku |
| Materiál | Sklo s nízkou tepelnou roztažností |
Rovinná zrcadla se dodávají v konfiguraci a rozměrech na objednávku. Proto u nich mohou být delší dodací lhůty a mohou být požadovány objednávky minimálního počtu kusů. V katalogovém listu v dolní části stránky jsou uvedeny specifikace, umožňující případnou lokální objednávku.
Úchyty zrcadel
Aby bylo možné zrcadla uchytit a správně vyrovnat s pohybovým systémem, může společnost Renishaw také dodat nastavitelné úchyty pro použití se zrcadly do délky 350 mm, která mají průřez 25 mm x 25 mm.
Tyto úchyty umožňují nastavení vybočení (yaw) do ± 2,5° a nastavení naklonění (pitch) do ± 1°. (Skutečný rozsah nastavení závisí na délce zrcadla.)
Funkce a výhody
- Snadné vyrovnání - možnost nastavení sklonu ve dvou osách urychluje seřízení zrcadla.
- Stabilní upevnění - poskytuje zrcadlu pevnou základnu, přičemž neomezuje jeho teplotní roztažnost.
- Neomezující - bezpečné uchycení zrcadla na dvou stranách snižuje namáhání zrcadla a minimalizuje nebezpečí prohnutí namontovaného zrcadla.
Úchyty zrcadel dodávané společností Renishaw nejsou určeny pro práci ve vakuu.
Okno vakuové komory 39 mm
Laserové snímače Renishaw RLE s vláknovou optikou poskytují díky interferometrickému principu odměřování vysoce přesnou polohovou zpětnou vazbu.
Diferenciální interferometrická hlava (RLD10-X3-DI) je určena pro montáž na stěnu vakuové komory. Okno vakuové komory pak umožňuje průchod laserového paprsku mezi detekční hlavou a měřicím zrcadlem. Tam, kde je pro měření uvnitř vakuové komory požadováno RLD, jako např. interferometr RVI20 pro vakuum, lze okno vakuové komory také použít s jinými variantami interferometrické hlavy.
Protože společnost Renishaw okna pro vakuové komory nevyrábí, bylo pro maximalizaci výkonu systému RLE 39 mm okno vakuové komory získáno dodavatelsky, podle zakázkové specifikace.
Doporučení pro montáž
Při montáži okna do stěny vakuové komory doporučuje společnost Renishaw následující.
- Při montáži okna nesmí dojít k pnutí, protože by docházelo k deformaci okna a k odchylce paprsku.
- Pro utěsnění okna ve stěně vakuové komory musí být alespoň na jedné straně okna použit O-kroužek.
Sestava periskopu 15 mm DI
Sestava periskopu zvětšuje vzdálenost mezi měřicím a referenčním laserovým paprskem detekční hlavy diferenciálního interferometru RLD10-X3-DI.
Sestava pomocí dvou zrcadel zvětšuje vzdálenost paprsků o 15 mm na celkových 29 mm (standardní ofset paprsků interferometru RLD10-X3-DI je 14 mm).
Funkce a výhody
- Zvětšený rozestup paprsků - umožňuje dodatečný 15 mm ofset mezi měřicím a referenčním paprskem.
- Vysoká odrazivost - použití vysoce odrazivých zrcadel minimalizuje pokles intenzity signálu mezi měřicími a referenčními paprsky.
- Standardní upevnění - periskop udržuje standardní upevnění DI hlavy.
RVI20 Vakuově kompatibilní interferometr
RVI20 je sestava vakuově kompatibilního interferometru pro rovinná zrcadla. Při použití s detekční hlavou Renishaw RLD10-A3-XX poskytuje možnost zachovat celou měřicí cestu ve vakuovém prostředí.
RVI20 je navržen pro montáž ve vakuové komoře. Laserový paprsek z detekční hlavy prochází okénkem komory do RVI20 a potom na rovinné zrcadlo.
Funkce a výhody
- Relativní měření - umožňuje relativní měření mezi dvěma částmi stroje, například nástrojem a obrobkem.
- Vakuová kompatibilita - je kompatibilní s prostředím vysokého vakua a je vhodný pro montáž ve vakuové komoře.
- Vysoce kvalitní optika - RVI20 obsahuje vysoce kvalitní optickou sestavu interferometru společnosti Renishaw, která se normálně používá v detekční hlavě RLD.
RVI20 je vyvinutý pro použití s aplikacemi laserových odměřovacích systémů, ve kterých musí být měřicí cesta uzavřena ve vakuovém prostředí.
Informace o produktech
Další zajímavé položky
