Přeskočit navigaci

RLD10 Interferometr s odrážečem

Interferometry s odrážečem, určené pro odměřování polohy na dlouhých osách nebo při vysokých rychlostech pohybu.

V pouzdru detekční hlavy RLD10 je umístěna optika interferometru, unikátní vícekanálový systém detekce interferenční proužků, laserová clona a integrovaný laserový zaměřovač. Dodávají se dvě varianty detekční hlavy RLD10, provedení 0° a 90°.

Funkce a výhody

  • Řešení pro víceosé systémy - jednoosé a dvouosé odrážeče jsou ideálním řešením pro víceosé aplikace.
  • Dlouhý dosah a vysoká rychlost - detekční hlavy interferometru s odrážečem umožňují odměřování polohy s větším dosahem nebo při vyšší rychlosti, než interferometrické systémy s rovinným zrcadlem.
  • Citlivá prostředí - k dispozici jsou rovněž verze s nízkým výkonem pro aplikace, které vyžadují nižší tepelné vyzařování než < 2 W.

Parametry 

Pojezdy v osách0 m až 4 m
Rozlišení (konfigurováno s RLU)

Analogová kvadratura = λ/2 (316 nm)
Digitální kvadratura = 20 nm
Rozlišení RPI20 = 77,2 pm

Nelineární chyba systému* (SDE)

*vyjma interface

<±5 nm pod 100 mm/s s intenzitou signálu >70%
<±13 nm při 2 m/s s intenzitou signálu >50%
Maximální rychlostAž 2 m/s

Pro osy delší než 4 m, viz náš laserový odměřovací systém HS20 pro osy o délce až 60 m.

Aplikace mimo vakuum vyžadují nějakou formu kompenzace indexu lomu, aby se zachovala přesnost systému při kolísání podmínek prostředí. Společnost Renishaw nabízí kvadraturní kompenzační systém RCU10 pro kompenzaci tohoto kolísání v reálném čase. odrážeče dodávané společností Renishaw nemusí být vhodné pro použití v aplikacích s mírným nebo úplným vakuem.

Rozlišení do 38,6 pikometrů lze dosáhnout zabudováním paralelního rozhraní RPI20 do systému RLE (konfigurace s rovinným zrcadlem). Pro vyšší rozlišení s digitálním výstupem lze použít interpolátory Renishaw řady REE s rozlišením až do 0,395 nm (konfigurace s rovinným zrcadlem). Toto rozhraní přijímá diferenciální analogové signály 1 Vpp /sin/cos a poskytuje výstup v paralelním formátu. Další informace o příslušenství viz kompenzační systém RCU10 a interface jednotky laserových snímačů

Informace o produktech