Přeskočit navigaci

Snímače polohy VIONiC™

Snímače polohy VIONiC jsou nejvýkonnější inkrementální optické snímače společnosti Renishaw. Poskytují přímou digitální polohovou zpětnou vazbu s vynikající metrologií, vysokou rychlostí a spolehlivostí. Ve čtecích hlavách VIONiC je začleněna osvědčená filtrační optika Renishaw a vyspělá interpolační technologie. To poskytuje mimořádně nízké chyby interpolace (SDE), výbornou odolnost vůči znečištění a navíc eliminuje nutnost dalších adaptérů nebo samostatných interfaců.

Čtecí hlavy VIONiC jsou navíc kompatibilní s širokým spektrem lineárních a rotačních stupnic a stupnic části oblouku, od typu stupnice s nízkou roztažností VIONiC™ po vysoce přesné kroužky REXM. Díky tomu jsou snímače řady VIONiC vhodnou volbou pro všestrannou a vynikající metrologii.

Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE)

Piktogram chyby interpolace (SDE)

Řada snímačů VIONiC slučuje osvědčenou filtrační optiku a zpracování signálů společnosti Renishaw pro vynikající metrologické vlastnosti. Vyspělá interpolační technologie poskytuje velmi nízkou hodnotu chyby interpolace (SDE), typicky < ±15 nm, která je nejnižší ze všech optických snímačů společnosti Renishaw.


Vysokorychlostní provoz s jemným rozlišením

Piktogram rychlosti

Čtecí hlava VIONiC je vybavena inteligentním čipem poskytujícím rozlišení až 2,5 nm, vysokou přesnost a opakovatelnost v každé aplikaci. Snímače se dodávají s maximální taktovací frekvencí 50 MHz a pracují s rychlostí až 12 m/s. Rychlosti až 3,63 m/s jsou možné při rozlišení 0,1 μm, což je ideální pro maximální průchodnost v procesech výroby polovodičů.


Advanced Diagnostic Tool

Piktogram volitelného ADT

Snímače VIONiC navíc vynikají snadnou instalací díky intuitivnímu auto-kalibračnímu režimu. Pro zpětnou vazbu snímače v reálném čase během instalace nebo pro diagnostiku na místě je k dispozici volitelný nástroj Advanced Diagnostic Tool ADTi-100.

Vyhledejte vhodnou stupnici pro váš VIONiC

Lineární

Typ stupnice

Název stupnice

Přesnost

Rozteč stupnice

Součinitel teplotní roztažnosti při 20 °C

Maximální délka stupnice

Stupnice z nerezové oceli s volitelným vedením

Stupnice RTLC20 FASTRACK

RTLC20 s volitelnou stupnicí FASTRACK

± 5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

Až do 10 m (>10 m na přání)

Pásková stupnice z nerezové oceli

Stupnice RKLC20

RKLC20-S

± 5 µm/m20 µm

Odpovídá materiálu podkladu, jsou-li konce stupnice připevněny koncovými svorkami

Až do 20 m (>20 m na přání)

Nosník z materiálu ZeroMet

Stupnice RELM RSLM

RELM/RELE±1 µm pro až 1 m, potom ±1 µm/m20 µm0,75 ±0,35 µm/m/°CAž 1,5 m

Stupnice z nerezové oceli

Stupnice RELM RSLM

RSLM20/RSLE20/RSLC20

± 1,5 μm až do 1 m, ± 2,25 μm až do 2 m, ± 3 μm až do 3 m, ± 4 μm až do 5 m20 µm10,1 ±0,2 µm/m/°CAž 5 m

Část oblouku

Typ stupnice

Název stupnice

Přesnost

Rozteč stupnice

Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C

Dodávaná délka

Úzké nerezové páskové stupnice části oblouku

RKLC stupnice na části oblouku

RKLC20-S


± 5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 μm/m/°C

Až do 20 m (>20 m na přání)

Rotační

Typ stupnice

Název stupnice

Přesnost (v závislosti na velikosti kroužku)

Rozteč stupnice

Součinitel teplotní roztažnosti při 20 °C

Průměr kroužku

Kroužek z nerezové oceli

Stupnice RESM-REST (strana se stupnicemi)


RESM20/REST20



Přesnost dělení: ±3,97 až ±0,38 úhlové vteřiny

20 µm

15,5 ±0,5 µm/m/°C

52 až 550 mm

Kroužek z nerezové oceli se zvlášť vysokou přesností

REXM REST (strana se stupnicemi)
REXM20/REXT20

Instalovaná přesnost:

(průměr ≥100 mm) ±1 úhlová sekunda
(průměr 75 mm) ±1,5 úhlové sekundy
(průměr ≤57 mm) ±2 úhlové sekundy

20 µm15,5 ±0,5 µm/m/°C52 až 417 mm

Volitelný Advanced Diagnostic Tool ADTi-100

Vyspělý diagnostický nástroj ADTi-100

Snímače VIONiC jsou kompatibilní s nástrojem Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 a softwarem ADT View. Tyto nástroje poskytují komplexní zpětnou vazbu v reálném čase výhodnou při problematických instalacích a diagnostice. Intuitivní software lze použít pro:

  • Dálkovou kalibraci
  • Optimalizaci signálu v celé délce osy
  • Indikaci klopení čtecí hlavy
  • Indikaci limitu a referenční značky
  • Digitální výstup pozice snímače (vzhledem ke stupnici)
  • Monitorování rychlosti proti časovému grafu
  • Export a ukládání dat

Klíčové vlastnosti

Rychlost

Výstupní taktovací frekvence (MHz)Maximální otáčky (m/s)Minimální separace hran* (ns)
D (5 µm)X (1 µm)Z (0,5 µm)W (0,2 µm)Y (0,1 µm)H (50 nm)M (40 nm)P (25 nm)I (20 nm)O (10 nm)Q (5 nm)R (2,5 nm)
501212127,253,631,811,450,9060,7250,3630,1810,09125,3
401212125,802,901,451,160,7250,5800,2900,1450,07331,8
2512129,063,631,810,9060,7250,4530,3630,1810,0910,04551,2
2012128,063,221,610,8060,6450,4030,3220,1610,0810,04057,7
121210,365,182,071,040,5180,4140,2590,2070,1040,0520,02690,2
10128,534,271,710,8500,4270,3410,2130,1710,0850,0430,021110
08126,913,451,380,6900,3450,2760,1730,1380,0690,0350,017136
06125,372,691,070,5400,2690,2150,1340,1070,0540,0270,013175
04123,631,810,7300,3600,1810,1450,0910,0730,0360,0180,009259
014,530,9100,4500,1800,0900,0450,0360,0230,0180,0090,0050,0021038

*Pro čtecí hlavy s kabelem 1 m

Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE)

Interpolovaná chyba - 10 chybových cyklů

VIONiC™ chyba interpolace (SDE)


Osa X: Poloha čtecí hlavy (mm)

Osa Y: Chyba (nm)