Diferenciální interferometr

Detekční hlava diferenciálního interferometru  RLD10-X3-DI umožňuje měření relativního posunu mezi pevným, referenčním zrcadlem a pohyblivým, měřicím zrcadlem. Detekční hlava RLD10-X3-DI, vhodná zejména pro aplikace ve vakuu a klimatizovaném prostředí, byla navržena pro montáž na vnější stěnu pracovního prostoru pomocí jednoduchého tříkolíkového držáku. Není nutné do prostoru vstupovat k vyrovnání detekční hlavy - integrované zaměřovače laserového svazku umožňují nezávislé nastavení roztečí a odchylek referenčního a měřicího paprsku. Provedení montážního systému umožňuje detekční hlavu demontovat a přemístit s minimálním vlivem na vyrovnání systému.

Specifikace

Údaje jsou založeny na používání hlavy RLD10-X3-DI s laserovou jednotkou RLU20

Funkce a výhody

• Výjimečné metrologické parametry
  - stabilita frekvence ppb a velmi nízká cyklická chyba umožňující výstupní rozlišení 38,6 pm.
• Diferenciální konfigurace
  Měří relativní polohu stolu proti sloupu a eliminuje běžné chyby režimu, jako pohyb boční stěny komory související s kolísáním prostředí.
• Rychlé vyrovnání
  Jednoduché vyrovnání z prostoru mimo pracovní komoru pomocí čtyř integrovaných zaměřovačů paprsků (nastavení rozteči a odchylky ±1° pro měřicí i referenční paprsky) pro překonání montážních tolerancí komory a zrcadla.

Zaregistrujte si svůj zájem o sortiment laserových odměřovacích systémů.